• ● ワークの変形が無い
• ● ワークの損傷が無い
• ● 吸着力がステージ全面にわたり均一
• ● ワークの大きさに関らず吸着力が一定
• ● 吸着力が真空度に比例

吸着力はステージ表面全面にわたりどの部位でも均一得られます。
吸着力はワークの大きさに関らず、ワークの単位面積当たりについては同じです。
たとえば、５００ｘ５００ｍｍのステージで、ワークがＡ４サイズでも、またワークがステージ面積の10％以上の大きさの場合、単位面積当たりの吸着力はほとんど同じです。
吸着力は導入する真空度により異なります。　従って、同一ステージにおいて部位によって異なる吸着力を必要とする場合は、真空ラインを２系統以上設けることにより達成することが出来ます。

　【吸着力(N/cm²）】

ポーラス材　　／　材質	真空度(bar)
	-0.3	-0.5	-0.85
ポーラスアルミ　／　アルミ	2.3	3.9	8.2
ポーラスアルミナ／　アルミナ	2.3	3.9	8.2

注）-0.85barの条件下での吸着力の値は、ステージ全表面での吸着として測定された。
　　また、-0.5barおよび-0.3barでの測定は、ステージ表面上の部分使用で測定された。
　　この吸着力はサクションカップを垂直方向に引っ張り測定された。

• 吸着ステージには、ポーラスアルミ材を使用したものとポーラスアルミナ材の２種類があります。
• 一般的にはポーラスアルミ材のステージが用いられますが、電気導電性のある不純物を避けたいワークの吸着にはポーラスアルミナ材が使用されます。
• 吸着ステージでは真空の導入は、ステージの側面から、または、ステージ下部からでも、どちらでも出来ます。
• 真空引きポートは、基本的には１箇所ですが、ステージが大きい場合は２～３箇所になることがあります。
• ステージの平面度の精度は、通常３０～５０μmですが、要求によっては１０μm前後の精度も可能です。
• ステージの大きさ・形状を問わないですが、ステージが大きくなると高い精度は困難となります。
• 吸着ステージ表面には３～５μｍ厚の保護コーティングを施すことが出来ます。
• 吸着ステージ表面に曲面形状などがあるステージも製作可能です

ポーラス黒色·酸化鉄材MA１００BLACKは、その微孔構造により均一で、優れた通気性を有する黒色酸化鉄の板材で少し磁性があり、優れた静電気除去性を有しており　光の乱反射を嫌う光学検査装置などの吸着テーブルに最適です。

微孔構造により

• － 穴あけ加工が不要
• － 均一で優れた通気性
• － 黒色で光の乱反射が無い
• － 静電気除去性を有す

縦 Ｘ 横：５００ Ｘ ５００mm、
厚さ 　 ：１５、３０、５０mm

特に、静電気除去性が求められる吸着テーブルに最適です。
吸着テーブル：半導体部品（例えば、ウェ－ファ－プレ－ト）検査装置等々

　
【光学検査用吸着テーブル】

【大型吸着テーブル(1500 x 2000mm)】

• 通常のロールを芯にして、外周にポーラス材を巻きつけたサクションロールはフィルム、紙、シート、金属箔等々をロールの回転速度に合わせ、ワークがスリップすること無く一定の速さで送ることが出来ます。

■真空吸着ステージの動画１
■真空吸着ステージの動画２
■真空吸着ステージの動画３